日立テクノロジーアンドサービス

温度可変レーザ三次元測定機

引用元：https://www.hitachi-ts.co.jp/business/engineering/testing/laser3d/index.html

ステージ部のストロークの長さに違いのある、LS60シリーズ・LS100シリーズ・LS150シリーズの大きく3つがあります。どのシリーズにも高精度の先進機能が搭載されており、半導体パッケージ・プリント基板・各種素材といった温度変化による熱変形を、非接触によって精密に測定することが可能です。高精度恒温チャンバやレーザーフォーカス変位計が備わっているので、幅広い温度範囲と正確な温度精度を実現しています。また、Windows対応の専用ソフトを活用すれば、条件設定・測定・データ解析・ビジュアル表示を行うことも簡単です。