PR三次元測定機データベース
日立テクノロジーアンドサービス
引用元：https://www.hitachi-ts.co.jp/business/engineering/testing/laser3d/index.html
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温度可変レーザ三次元測定機
INDEX目次
温度可変レーザ三次元測定機は、試料の温度変化による熱変形を、非接触で精密に測定する製品です。高精度恒温チャンバが搭載されており、自由度の高い温度設定と、正確な温度制御が可能になっています。レーザーフォーカス変位計による高精度測定ができるほか、条件設定や測定、データ解析やビジュアル表示などを、PCの専用ソフトで簡単におこなえます。
主に半導体パッケージ、プリント基板、各種素材の測定に用いられます。
2024年時点で販売されている、代表的な温度可変レーザ三次元測定機「LS60シリーズ」「LS100シリーズ」「LS150シリーズ」のスペックを表にまとめました。
◼️LS60シリーズ
| LS60シリーズ仕様 | LS60-RT50 | LS60-MT50 | |
|---|---|---|---|
| 恒温チャンバ | 最大試料寸法 | 50mm角 × H5mm | 50mm角 × H5mm |
| 測定温度範囲 | 室温～+350℃ | -70℃～+350℃ | |
| 温度保持精度 | ±0.3℃以内（試料台温度） | ||
| ステージ部 | X軸ステージ | ストローク：60mm（1µm/Step） | |
| Y軸ステージ | ストローク：60mm（1µm/Step） | ||
| Z軸ステージ | ストローク：50mm（手動タイプ） | ||
| 回転ステージ | 微動範囲：±5°（手動タイプ） | ||
※横にスクロールできます。
◼️LS100シリーズ
| LS100シリーズ仕様 | LS100-RT70 | LS100-MT70 | LS100-MT100 | LS100-MT100 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 恒温チャンバ | 最大試料寸法 | 70mm角 × H5mm | 70mm角 × H5mm | 100mm角 × H10mm | 100mm角 × H10mm |
| 測定温度範囲 | 室温～+350℃ | -70℃～+350℃ | 室温～+300℃ | -50℃～+300℃ | |
| 温度保持精度 | ±0.3℃以内（試料台温度） | ±0.5℃以内（試料台温度） | |||
| ステージ部 | X軸ステージ | ストローク：100mm（1µm/Step） | |||
| Y軸ステージ | ストローク：100mm（1µm/Step） | ||||
| Z軸ステージ | ストローク：50mm（手動タイプ） | ||||
| 回転ステージ | 微動範囲：±5°（手動タイプ） | 無 | |||
※横にスクロールできます。
◼️LS150シリーズ
| LS150シリーズ仕様 | LS150-RT140 | LS150-MT140 | |
|---|---|---|---|
| 恒温チャンバ | 最大試料寸法 | 140mm角 × H15mm | 140mm角 × H15mm |
| 測定温度範囲 | 室温～+250℃ | －40～+250℃ | |
| 温度保持精度 | ±0.5℃以内（試料台温度） | ||
| ステージ部 | X軸ステージ | ストローク：150mm（1µm/Step） | |
| Y軸ステージ | ストローク：150mm（1µm/Step） | ||
| Z軸ステージ | ストローク：50mm（手動タイプ） | ||
| 回転ステージ | 微動範囲：±5°（手動タイプ） | ||
※横にスクロールできます。
日立テクノロジーアンドサービス社が製造、販売しています。日立グループが誇る「エンジニアリング力」「モノづくり力」「サービス力」といった総合力を武器に、主に産業機械とメカトロニクス事業の分野でシェアを獲得しています。
| 社名 | 株式会社日立テクノロジーアンドサービス |
|---|---|
| 本社所在地 | 茨城県土浦市神立町603番地 |
| 設立 | 1987年6月1日 |
| 電話番号 | 029-831-4158 |
| 公式サイトのURL | https://www.hitachi-ts.co.jp/index.html |
PICK UP
三次元測定機メーカー3社(※)が提供している、据置型・ポータブル型・大型測定対象物測定機・ショップフロア向け三次元測定機などの製品を調査し、先進の三次元測定機を選出しました。ここではその中から、様々なニーズに合わせて分かりやすく、「高精度・高効率な三次元測定機」「手頃な価格帯の三次元測定機」「省スペース・手軽な三次元測定機」の3つのタイプに分けて比較・解説していきます。 ※Googleで「三次元測定機 メーカー」と検索し、表示される三次元測定機メーカーを3社選出しました。（2024年2月調査時点）
Hexagon
引用：https://hexagon.com/ja/products/global-scan?accordId=FD8B3F002EF44CF188B456FAE10B03E4
接触と非接触を両立した最新鋭のセンサー技術で、計測の効率化と安定した精度を実現
センサー
自社製の接触式センサーとレーザー・カメラ・白色光などの非接触センサーが魅力
精度
スタンダード：1.5 + L/333
ACCURACY仕様：1.2 + L/350
ISO準拠
回転ヘッド
7.5°/5°/2.5°ピッチから選択可能な自社製自動回転ヘッドなど豊富なバリエーション
設置環境
測定室環境
ソフトウェア
PC-DMIS
CADオフラインティーチング（デジタルツイン）に対応した世界標準のPC-DMISソフトウェアを標準搭載
イタリア有数の高級デザイン会社「Pininfarina」による洗練されたプロダクトデザイン
Shineテクノロジーを搭載した高精度ラインレーザーHP-L-10.10を採用
【選出理由】Global Sは「三次元測定機」を調査した中で、HPL10.10が使用可能な汎用性の高さ、かつ、グローバルマーケットをリードする製品であったため。
ミツトヨ
引用：https://www.mitutoyo.co.jp/products/measuring-machines/cmm/standard/191-121/
日本での高いマーケットシェアを誇る手頃な価格帯の国内生産の三次元測定機
センサー
実績豊富なレニショー製のセンサーや自社製非接触センサー
精度
ISOに準拠。精度1.7＋3L/1000（07.10.06サイズ）
回転ヘッド
実績豊富なレニショー製7.5°ピッチの自動回転ヘッドが主力
設置環境
測定室環境
ソフトウェア
MCOSMOS
簡易粗さ計測に対応したセンサー提供可能
芯だし顕微鏡オプションの提供が可能
日本では老舗の有名メーカー
【選出理由】CRYSTA-Apexは調査した中で、国内のマーケットをリードし、かつ、汎用性・精度のバランスが優れている製品であったため。
キーエンス
引用：https://www.keyence.co.jp/ss/products/measure-sys/xm/007/2111_01.jsp?cid=NET143&utm_source=zenken&utm_medium=referral&utm_campaign=zenken_xm&ad=zxm_002
省設置スペースで場所を取らず、ゲージ感覚で3次元測定ができる操作性の良い手動計測機
センサー
接触センサーをベースに非接触レーザーも新発売
精度
独自の基準で精度保証
回転ヘッド
手動でフレキシブルな位置決め
設置環境
どこでも可能
ソフトウェア
ユーザーインターフェース
どこでも設置動作可能 (※ただし精度保証は23℃±1℃)
手で持ってフレキシブルな計測が可能
校正点検が不要
【選出理由】調査した中で導入の手軽さ、使いやすさが優れていたのがXMであったため。
Global S Scan+
Hexagon
CRYSTA-Apex
ミツトヨ
XMシリーズ
キーエンス