PR三次元測定機データベース
東京精密
引用元：https://www.accretech.com/jp/product/measuring/system/cmm/xyzaxaxcel_ph.html
PRODUCTS
xyzaxシリーズ
INDEX目次
xyzax（ザイザックス）シリーズは、東京精密が製造、販売している三次元測定機の製品総称です。同シリーズには「AXCEL PH」「mju NEX」「mju NEX J」「SVF NEX」の4製品があります。
あらゆる条件下で高精度、高速な測定ができる測定機です。新開発の駆動機構による速度と安定性が魅力で、駆動速度は最大700mm/sec、加速度は最大2300mm/sec²を誇ります。標準仕様で16～26℃と幅広い精度保証範囲は、オプションにより15℃～30℃まで拡大可能。測定精度の高さと速さはもちろん、すぐれた耐環境性も強みです。
コンパクトながら、さまざまなシーンで高精度測定をおこなえるエントリーモデルです。同社の従来製品から、設置面積を40％も削減することに成功し、設置場所の自由度が広がりました。さらに、Y軸測定範囲が760mmまで拡大された新サイズも新たに誕生し、大きめのワークにも対応可能になっています。
簡単な操作で正確にマニュアル測定をおこなえる、ジョイスティック測定機です。操作性にすぐれたジョイスティックとオートプロービング機能が、従来のマニュアル操作では難しかった、正確な測定を実現します。「mju NEX」の強みであるコンパクトさと、省エネルギー、高耐環境性を受け継ぎつつも、新しいマニュアル測定機として活躍しています。
東京精密のロングセラー製品である「RVFシリーズ」のデザインを一新し、生まれ変わったマニュアル測定機です。新たに搭載したAI（人工知能）機能により、幾何形状の判別や要素指定、座標系設定の自動化を実現。さらには高剛性メゾネットブリッジ構造（テーブル両側面ガイド方式）を採用しているため、長時間の測定でも高い精度が保たれます。
続いて、xyzaxシリーズが現場でどのように活用されているのか、実際の例を見てみましょう。
シリーズ各製品のスペックを表にまとめました。
| 最大許容長さ測定誤差 | E0, MPE：1.8 + 3L/1000μm～2.4 + 3L/1000μm（温度条件：18～22℃） |
|---|---|
| 繰り返し範囲の最大許容限界 | R₀, MPL：1.5μm～2.4μm |
| 測定範囲 | X軸：650～1200mm Y軸：500～2500mm Z軸：480～1000mm |
| 分解能 | 最小表示：0.01μm |
| 耐環境性 | 精度保障温度：16～26℃（標準）, 15～30℃（オプション） |
| 本体質量 | 1610～7600kg |
| 本体寸法 | 幅：1462～2180mm 高さ：2339～3415mm 奥行：1450～3650mm |
| 最大許容長さ測定誤差 | E0, MPE：2.2 + L/250μm～2.7 + L/250μm |
|---|---|
| 繰り返し精度 | R₀, MPL：1.4～2.0μm |
| 測定範囲 | X軸：510mm Y軸：460～760mm Z軸：410mm |
| 分解能 | 最小表示：0.01μm |
| 耐環境性 | 環境温度：18～22℃ 温度変化：1.0℃/hour, 2.0℃/day |
| 本体質量 | 660～920kg ※データ処理部含む |
| 本体寸法 | 幅：1110～1145（1745）mm 高さ：2170mm 奥行：1256（1745）～1536（2000）mm ※カッコ内はデータ処理部含む |
| 最大許容長さ測定誤差 | E0, MPE：2.9 + L/250mm |
|---|---|
| 繰り返し精度 | 記載なし |
| 測定範囲 | X軸：510mm Y軸：460～760mm Z軸：410mm |
| 分解能 | 最小表示：0.01μm |
| 耐環境性 | 環境温度：18～22℃ 温度変化：1.0℃/hour, 2.0℃/day |
| 本体質量 | 620～880kg ※データ処理部含む |
| 本体寸法 | 幅：1080（1805）mm 高さ：2170mm 奥行：1052（1920）～1332（2200）mm ※カッコ内はデータ処理部含む |
| 最大許容指示誤差 | MPEe：3.0 + 4.0L/1000～5.4 + 5.5L/1000 |
|---|---|
| 繰り返し精度 | 記載なし |
| 測定範囲 | X軸：400～800mm Y軸：350～1000mm Z軸：300～600mm |
| 分解能 | 最小表示：0.01μm |
| 耐環境性 | – |
| 本体質量 | 580～1700kg |
| 本体寸法 | 幅：990～1490mm 高さ：2105～2705mm 奥行：895～1750mm |
続いては、どのような方にどの製品がおすすめなのか、簡単に解説します。
温度変化を気にせず、高速かつ高精度で測定をおこないたい方におすすめです。AXCEL PHには、X軸ガイドやY軸キャリッジには新設計のカバーを採用し、石定盤の変形を防止する工夫が施されています。温度変化の影響を最小限まで抑制することで、測定室の温度管理に必要な費用を削減できる点もポイントです。
測定に必要なランニングコストを削減したい方におすすめです。mju NEXは同社従来製品と比較して、消費電力量を73％削減することに成功しています。さらに、リニアガイドとエアベアリングに一部搭載された「Hybrid Guideway Technology」により、エア消費量も従来の1/4に。さらにオプションを追加すると、エア供給と配管工事が不要となり、電源さえあれば導入できるようになります。
マニュアル測定の精度を高めたい方におすすめです。mju NEX Jの操作ボックスはコンパクトかつシンプルな設計で、ダブルサムスティックによる自由自在な操作が可能。加えて、位置決めをアシストするオートプロービング機能により、測定速度や測定力が一定に保たれ、位置のバラつきを防ぎながら正確な測定ができます。
マニュアル測定機のエントリーモデルを探している方におすすめです。SVF NEXの座標系アシスト機能や座標系AI機能が、設定と測定を強力にサポートしてくれます。XガイドとZ軸には、特殊な加工が施されたアルミ合金を採用。可動部が軽量で、測定時の慣性が小さいため、疲労を感じにくい設計になっています。特に、長時間のマニュアル作業に慣れていない方には嬉しいポイントです。
東京精密（ACCRETECH）は、1949年に創業した、日本を代表する精密機器メーカーです。主に半導体製造装置と精密測定機器の2分野において、国内外でシェアを獲得しており、アジアを中心とした海外各国へも拠点を展開しています。長年にわたって磨き続けた技術を生かし、「計測事業を持つ唯一の半導体装置メーカー」として常に業界をリードし続けてきました。
さらに東京精密では自社製品に加え、ドイツの光学機器メーカーであるカールツァイス社の日本販売店として、同社の三次元測定機も販売中。「ZEISS PRISMO」などの人気製品を取り扱っており、ユーザーの多様なニーズに応えています。
| 社名 | 株式会社東京精密 |
|---|---|
| 本社所在地 | 東京都八王子市石川町2968-2 |
| 設立 | 1949年3月28日 |
| 電話番号 | 042-642-1701 |
| 公式サイトのURL | https://www.accretech.com/jp/ |